往复式真空泵在工作的过程中其主要的原理是依靠汽缸内的活塞作往复运动来吸入或者是排出气体的，在进行操作时可以分为卧式和立式两类。但常用的是卧式活塞真空泵，活塞真空泵又有单缸和双缸之分。其排气阀的结构有滑阀式和自由阀式。
往复式真空泵的特点
往复真空泵的特点是，不怕水蒸气，牢固，操作容易等。
往复式真空泵的极限真空度
自由阀式单级真空泵的极限真空度，为1020Torr，往复式真空泵的抽速范围，为45-20000立方每小时。它主要用于从密闭容器中或反应釜中抽除空气或其他气体；除非采取特殊措施，一般往复式真空泵不适用于抽除腐蚀性的气体或带有颗粒灰分的气体，其被抽气体的温度，一般不超过35度。
在下列条件下使用真空泵时必须加装附属装置：
（1）被抽气体中含有灰尘时，在进气管前必须加装过毽器；
（2）被抽气体中含有大量的蒸汽时，在进气管前必须加装冷凝器。
（3）被抽气体中含有腐蚀性气体时，在进入真空泵之前必须加装中和装置；
（4）被抽气体的温度超过35℃时。要加装冷却装置；
（5）被抽气体中含有大量液体时，在进气管前必须加装分离器；
（6）泵的启动电流往往超过电机额定电流的数倍，所以必须配用相当的启动开关。
往复式真空泵的作用原理
往复式真空泵的结构及减压原理往复式真空泵的结构和作用原理，与往复式压缩机基本相同。
1.相同之处
相同的是，它们都是将低压气体经过压缩而提高压强。
2.不同之处
不同之处在于，前者是从容器中抽出稀薄气体，并将其压缩到一个大气压以上后再排出去；而后者，则是将常压的气体压缩到更高的压强后排出去。