因为化工或者是制药等相关工艺气当中会不同程度的含有易燃、易爆以及腐蚀性气体，也正是因为如此，就干式真空泵对于我们来讲也就需要进行特殊处理。对于干式螺杆真空泵内部结构简单，两根转子、泵腔也就应该要注意去做防腐方面的处理，这时候也就应该要注意选用镍磷涂层与特氟龙两种涂层。
爪式真空泵比较难做防腐方面的处理，各级隔板之间几乎没有办法去做表面处理，转子表面的防腐涂层也就比较容易在装配的时候不会发生损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体，这时候也就不可以抽取易燃、易爆以及其具有腐蚀性的气体。
说到真空泵设备的换油，就真空泵设备在连续工作三月到半年之后，这时候应该要注意去进行换油一次，在湿度上比较大的地区，在潮湿季节工作的泵，或被抽气体污染很大的，就这一点来讲的话，就其在很大的程度上也就是要注意去根据具体情况逐情缩短换油时间。
真空泵设备在进行换油的时候，首先应该要注意把泵拆除真空系统，之后也应该把底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动着真空泵，捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出，再从进气口处加入新油100-500ML持续转动5-10转以上对于内部进行清洗，照此操作3-5次，特污油放清之后，再装上放油塞，把泵放平，从进气口及加油孔处分别加入新油，换油即告完毕。
真空泵设备在进行换油的时候不宜长久开动电机，这时候也就会使得排气阀片跳动过于剧烈和疲劳；真空泵设备的换油，也应该严禁用煤油，汽油，酒精等对泵作非拆卸的清洗；若是其停泵时间上比较长，应该要注意取下排气罩放上排气塞，封闭进气口，放净积水。