对于这种类的低真空抽气机组主泵，它比较常用的其实也就是往复式真空泵，还有就是油封式真空泵，再者，其实也就是指水蒸气放射泵以及其水环泵和罗茨泵等。就这个方面来讲，对于其运用的低真空抽气机组来讲的话，它其实也就是会需要根据被抽气体上的清洁程度以及其湿度亦或者是其他特殊恳求，就这个方面来讲，其实也就是能配置必要的除尘器以及其单调罐等部件。

    再者，我们其实也就是会注意到，当水蒸气在紧缩过程当中，其实也就是会直接的就凝结成水滴，并且会和真空泵混合构成一定的悬浮液，这样来讲的话，其实也就是会直接的就使真空度出现降落的现象，在一定的方面上，它其实也就是会使泵腔和转子出现生锈的现象，从而破坏密封面。

   就以上的方面来讲的话，它其实也就是会使真空泵的极限真空度出现降落。也正是因为如此，就其在一定的程度上，其实也就是能防止水蒸气对于机械泵的污染。

    真空泵中的真空系统污染预防，我们其实也就是要注意应该选用带有气镇装置的一个油封机械泵；真空泵进行装油分别器以及其离心式分别器亦或者是油水分别器来讲，其实也就是会直接的就把混有水的机械泵油进行中止处置，对于处置过的油其实也就是会再流入到泵中进行运用。