保守的高真空泵都在几Pa范围。因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才干开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间，高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强。因为随着压力降低泵的抽速在减小，特别是对于周期性抽气的真空机组，对达到工作真空度的时间是有要求的预抽时间越长，进入工作真空度的时间也越长，故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合，可在较短的时间达到主泵可以工作的压力，这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。
罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵，分子增压泵有极高的压缩比，这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能，同时在中真空范围也有超强的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。具体地讲由于分子增压泵耐压高，所以可使前级泵易于处于高流量状态；而分子增压泵吸入压力高，减缓了前级泵的预抽负担。分子增压泵可以在100-50Pa工作，前级泵从大气到这一压力，基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律，因此，机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。
对于较大型的高真空应用设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，所以前级泵的使用时间也很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用，而这往往是非常现实的真空泵油在有空气(或氧气)及金属催化剂的存在下，一定温度下的氧化时间里，会呈现油品的酸值、粘度变化及生成沉淀物的状况。会随运用过程而发作氧化作用，因此逐步生成一些醛、酮、酸类和胶质、沥青质等物质，氧化安定性则是抑止上述有利于油品运用的物质生成的性能。水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴，并与泵混合构成悬浮液，不只会使真空度降落，也能使泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的极限真空度降落。为此，防止水蒸气对机械泵的污染很重要。
真空机组防止的措施有：
选用带有气镇装置的油封机械泵；装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混有水的机械泵油中止处置，处置过的油再流入泵中运用；运用吸水性强的单调剂；运用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流。